CVD-ZnS胞状生长现象抑制方法

摘要：

实验采用化学气相沉积方法制备硫化锌体材料(CVD-ZnS),并对材料中普遍出现的胞状生长现象进行了系统研究.通过微观结构表征及宏观形貌分析,发现胞状生长起始于大尺寸的晶体生长中心,其内部晶粒的生长方向发生了横向偏移,且生长速率大于正常晶粒,最终导致了产物表面的球状凸起,产物侧剖面表现出“倒圆锥”状生长形貌.同时,依据实验中所出现的不同胞状生长现象,探究了胞状物异常生长中心形成的主要原因.在此基础之上,设计了不同条件的沉积实验,探究了各类胞状生长现象的抑制方法,并在实际生产过程中得到了验证,从而实现了对该异常现象的有效抑制.

关键词：CVD-ZnS、胞状生长、抑制方法、微观结构

所属期刊栏目：47

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：351-356