组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析

摘要：

利用有限元法对组合激光辐照单晶硅的温度及应力场进行了数值分析,在组合激光与连续激光平均功率密度相同的前提条件下比较了组合激光和连续激光分别作用于单晶硅的损伤效果.计算结果表明,组合激光与连续激光相比更有利于实现对单晶硅的热损伤;组合激光作用下单晶硅内部的Von Mises应力、轴向应力和环向应力比在连续激光作用下要大,组合激光对单晶硅的损伤比连续激光更强.

关键词：组合激光、激光损伤、数值分析、单晶硅

所属期刊栏目：47

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家”十三五装备”预先研究项目

在线出版日期：2019-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：84-91