浸没式光刻照明系统的照明模式变换器

摘要：

研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试.采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析.给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析和实验分析,证明了设计的可行性.研究结果表明:当输入光场被分割的阵列数为20×20单元时,二极和四极照明模式下衍射元件台阶数为32,传统照明模式下台阶数为128的情况下,衍射光学元件作为照明模式变换器的均匀性及衍射效率都能够满足设计要求.从原理、实验上验证衍射光学元件激光模式变换器设计的正确性及可行性.研究结果能够应用于浸没式光刻照明系统中照明模式变换结构中,具有一定的理论价值和工程意义.

关键词：浸没式光刻照明系统、照明模式变换、衍射光学元件、光瞳整形

所属期刊栏目：47

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金91338116,11474037;吉林省教育厅科学研究项目JJKH20181363KJ;2018年度校级项目支持

在线出版日期：2018-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：162-167