摆臂式轮廓测量不同母线条数的敏感性分析

摘要：

为了确定摆臂式轮廓检测大口径离轴非球面采用不同扫描线数时系统检测误差的敏感性,文中提出采用蒙特卡洛方法,建立了仿真分析的模型.对母线条数分别为8~120条的模式进行模拟检测,对系统噪声引入的面形误差进行Zernike多项式项拟合,统计分析得母线条数为8~39条时,系统噪声引入的低阶项检测误差随母线条数的增加而迅速降低;母线条数为40~70条时,引入低阶项检测误差降低缓慢;71~120条时,引入的低阶项检测误差几乎保持不变.结合实例,对一口径1500 mm的离轴非球面反射镜进行实验,分别采用36条、72条和96条母线进行面形检测.36条母线检测误差相对较大,检测结果为7.73 μm PV和0.68 μm RMS;72条母线和96条母线检测结果十分接近,分别为5.755 μm PV,0.568 μm RMS和5.612 μm PV,0.569 μm RMS.验证了仿真分析结果的准确性,为摆臂式轮廓检测大口径离轴非球面中母线条数的优化选择提供了理论指导.

关键词：大口径、离轴非球面、摆臂式轮廓检测、仿真分析

所属期刊栏目：47

分类号：O439;TH72(光学)

资助基金：国家自然科学基金重点国际合作研究项目61210015;国家自然科学基金青年科学基金61605202

在线出版日期：2018-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：239-244