采用短相干光源的动态斐索干涉仪

摘要：

为了实现斐索型干涉仪的动态干涉测试,研究了一种采用短相干光源的动态斐索干涉仪.以中心波长为638 nm、带宽为0.1 nm的二极管泵浦固体激光器作为光源,与偏振延迟装置结合得到一对短相干正交线偏振光,通过调节光源模块中两支线偏振光的光程差来匹配斐索干涉腔的长度,从而获取一对光程差为0的相干光束.使用偏振相机采集得到四幅位相依次相差π/2的移相干涉图,按照四步移相算法解算相位,恢复待测元件的表面面形.采用光强归一化算法有效地抑制了偏振态误差导致的移相干涉图光强不一致在最终恢复波面中引入的一倍频波纹误差.采用琼斯矢量和琼斯矩阵分析了干涉图对比度与s光和p光光强比值的关系,并分析了1/4波片方位角误差对最终恢复波面的影响.利用该装置和Zygo GPI XP型干涉仪测量了同一块光学平晶,其均方根值相差0.024λ,峰谷值相差0.026λ.

关键词：光学测量、动态干涉仪、短相干光源、偏振移相

所属期刊栏目：47

分类号：O436(光学)

资助基金：国家重大科学仪器开发专项2013YQ150829

在线出版日期：2018-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：202-208