圆光栅测角传感器在线自校准系统研制与实验

摘要：

为了解决测角系统在实际应用中的在线校准问题,设计了一种圆光栅测角传感器在线自校准系统.基于圆封闭原则和傅里叶级数的性质,建立了测量值与单读数头误差之间的关系,实现单读数头自校准.该自校准系统由读数头、玻璃圆光栅、单轴转台和多通道采集控制系统组成.实验结果表明,测角传感器自校准系统的单读数头测量精度为±5.90″,接近于借助外部参考标准的谐波补偿方法后的精度,系统测量重复性小于0.76″.自校准测量系统可实现圆光栅测角传感器在线校准的同时,满足了精密测量领域对精度和可靠性的要求.

关键词：角度传感器、圆光栅、自校准

所属期刊栏目：47

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2016YFF0100700;青岛市光电智库联合基金GDZK-2017-05

在线出版日期：2018-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：212-217