衍射光学元件斜入射衍射效率的测量

摘要：

针对衍射光学元件衍射效率测量的双光路实验装置,当次级衍射光通过孔径光阑由探测器接收时,为保证测量精度提出了测量衍射效率的修正公式.针对所研制的含有衍射光学元件的折衍射混合成像光学系统,选取可见光波段中的3个激光波长,当衍射面上入射角度为12°时对该衍射光学元件进行了衍射效率的测量,并对测量结果进行了模拟和分析.由于存在一定的加工误差和斜入射时遮挡效应的影响,实际测得的衍射光学元件的衍射效率比理论计算结果低.根据测量结果拟合曲线,在473～632.8 nm波段范围内的带宽积分平均衍射效率对比理论值存在12.84％的偏差.

关键词：衍射光学、光学测量、衍射光学元件、衍射效率

所属期刊栏目：47

分类号：O436(光学)

资助基金：江苏省高校自然科学研究基金16KJD140001

在线出版日期：2018-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：207-211