脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜

摘要：

为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜.其中,类金刚石层为主要功能膜层,起到硬质保护和光学增透的作用;而锗层作为缓冲层,起到缓解纯类金刚石膜内应力过大的问题,同时由于锗层很薄,对整个膜层的机械性能和红外特性的影响很小.测试表明,制备的多层类金刚石膜内应力为2.14 GPa,比纯类金刚石膜降低了39％,通过了GJB2485-95《光学膜层通用规范》中的重摩擦测试;同时,其纳米硬度仍保持在47 GPa的高水平.该多层类金刚石膜可以作为实际应用的红外窗口保护膜.

关键词：脉冲激光沉积、多层类金刚石膜、锗缓冲层、低内应力

所属期刊栏目：46

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家部委预先研究项目51318060212

在线出版日期：2017-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：275-280