1064 nm激光预处理对HfO2/SiO2反射膜损伤形态转化影响研究

摘要：

实验研究了不同激光预处理参数对于纳秒激光多脉冲作用下HfO2/SiO2反射膜损伤形态转化的影响.通过对比两类损伤扩张性和对薄膜功能性破坏机制,提出激光预处理技术的重要意义在于抑制损伤形态转化过程.通过薄膜损伤形态分析揭示了激光预处理作用机制为节瘤缺陷的去除和亚表面吸收前驱体的形成两方面的综合作用.实验结果表明:预处理后薄膜损伤形态转化特征曲线向更高通量和更多发次方向平移.针对现有工艺下的薄膜,采用高通量、两台阶的预处理参数组合能够获得兼顾效率的最佳收益,其零几率损伤形态转化阈值最高可以提升140%.

关键词：激光预处理、反射膜、损伤形态

所属期刊栏目：46

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61505186;科学挑战专题JCKY2016212A506-0503

在线出版日期：2017-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：56-62