32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件

摘要：

甚长波红外波段富含大气湿度、CO2含量及云层结构和温度轮廓等大量信息,是大气遥感的重要组成部分.设计了一种32×32甚长波红外焦平面阵列,采用在ZnCdTe衬底上液相外延生长的As掺杂p型材料上进行B+离子注入形成光敏元,通过铟柱倒焊技术和带有改进型背景抑制结构的读出电路互联,制成截止波长达到14μm的焦平面器件.该红外焦平面器件像元面积为60μm×60μm,工作温度在50 K温度下.测试结果显示:读出电路性能良好,焦平面黑体响应率达到1.35×107 V/W,峰值探测率为2.57×1010 cmHz1/2/W,响应率非均匀性约为45%,盲元率小于12%.

关键词：碲镉汞、甚长波、红外焦平面、读出电路、背景抑制

所属期刊栏目：46

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：重点实验室基金9140C1030302150C03011;广州市珠江科技新星专项2014J2200086;国家自然科学基金61204116

在线出版日期：2017-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64