640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

摘要：

介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展.在640×512规模20μm中心距面阵上,偏振焦平面采用了2×2子单元设计,子单元中每个像元分别刻蚀0°、90°、45°以及135°方向的一维线性光栅,来获得入射光不同偏振角度的信息.突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术,制备出面阵探测器芯片,实现了偏振长波红外探测的单片集成,配上杜瓦和制冷机,研制出噪声等效温差优于30 mK的长波偏振640×512量子阱探测器组件.

关键词：偏振长波红外探测、大面阵量子阱焦平面组件、单片集成

所属期刊栏目：46

分类号：TN362(半导体技术)

在线出版日期：2017-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：76-81