适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计

摘要：

为了增加压电陶瓷驱动快速反射镜的偏摆范围，对菱形微位移放大机构进行了研究设计。首先介绍了菱形结构的放大原理并利用变形能法分析了影响菱形结构性能的关键参数，然后建立了快速反射镜系统要求与菱形结构设计要求之间的联系，并根据自行设计的快速反射镜系统选择了菱形结构的关键参数，最后通过有限元仿真对菱形结构和快速反射镜系统进行了模态分析并对快速反射镜的偏摆范围进行了实验测试。仿真与实验结果表明，快速反射镜的偏摆范围大于6′，低阶谐振频率约为400 Hz，满足了快速反射镜的系统要求。文中研究得出，菱形结构的位移放大倍率与最大驱动力是此消彼长的两个性能，可以通过合理调整菱形长轴与菱形边夹角以及菱形边宽度使两个性能同时满足系统设计要求。

关键词：快速反射镜、压电陶瓷、位移放大机构、菱形结构

所属期刊栏目：45

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：长春市科技计划项目2013270

在线出版日期：2016-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1018004-1-1018004-7