MEMS开关宽频程控步进衰减器设计与实现

摘要：

提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计，选择以CPW(共面波导)为传输线，接触式MEMS开关作控制器件，同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配；其次，通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸；然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真，对比单级衰减和展频二级衰减的S参数，可以发现，在Q值匹配后的电路中，射频信号可以在更宽的频段内保持稳定衰减。最后通过UV-LIGA技术结合氧化钽电阻工艺对衰减器进行了样片试制与结果测试。结果表明，通过Q值匹配可以扩展衰减器的工作频段，为高频信号的稳定衰减提出了一种可行性方案。

关键词：MEMS开关、射频衰减器、Q值匹配

所属期刊栏目：45

分类号：TN62(电子元件、组件)

资助基金：国家自然科学基金51475438；山西省研究生创新项目2016BY124；山西省回国留学人员科研资助项目2014-055；山西省中北大学基金项目20161348

在线出版日期：2016-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1020002-1-1020002-5