子孔径拼接检测凸球面技术研究

摘要：

为了解决大口径凸球面镜高精度检测问题，建立了子孔径拼接检测数学模型，模型以全局优化算法及最小二乘拟合算法为基础，优化得出被检测镜面全口径面形，并基于该数学模型对一口径120 mm凸球面镜完成了拼接检测，检测中共测量5个子孔径。由检测结果可以看出，拼接面形表面光滑连续，无拼接痕迹。为了验证拼接精度，在子孔径检测中另取一用于评价拼接精度的自检验子孔径，完成了对应子孔径的检测，并将拼接结果与自检验子孔径检测结果进行了点对点相减，从而获得残差图，实验结果表明：残差图PV值为0.014，RMS值为0.003，表明拼接结果的可信性，验证了算法的可靠性与准确性。

关键词：光学检测、干涉测量、子孔径拼接、凸球面镜

所属期刊栏目：45

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金61036015

在线出版日期：2016-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：0517002-1-0517002-5