电热式微机电系统微镜傅里叶变换红外光谱仪

摘要：

为了研制小体积、低成本、高分辨率的微型傅里叶变换红外光谱仪，通过选择电热式微机电系统(MEMS)微镜作为迈克尔逊干涉仪动镜，在满足了傅里叶光谱仪小型化、便携化的同时，利用折叠双S型Bimorph驱动结构来实现双倍位移量以确保较高分辨率，并将分束器外置来进行不同波段的灵活选择，进而实现全光谱范围的应用。以1310 nm激光作为参考光光源，钨灯宽带光作为待测光源信号，通过信号采集、滤波、插值、光谱恢复步骤完成原始信号采集到光谱信号复原的过程。测试结果表明：电热式微镜的位移量可达到500μm ，光谱理论分辨率1 nm ，光谱仪整机尺寸小至62 mm×62 mm×28 mm。测试基线噪声为0.00004，基线重复性为0.00032，吸光度重复性为0.00048。性能指标能满足食品安全、药品检测、石油化工等领域的光谱检测应用。

关键词：电热驱动、MEMS微镜、傅里叶变换红外光谱仪、基线噪声、吸光度

所属期刊栏目：45

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金11204046；国际合作研究项目2014DFA00670；国家仪器研究专项基金2011YQ03012407

在线出版日期：2016-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：0520007-1-0520007-7