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10.3788/IRLA201645.0306003

发散角对中性原子沉积特性的影响

引用
利用激光驻波场操纵中性原子沉积纳米光栅结构是一种新颖的制备纳米计量标准技术,但采用传统的一维和二维方式对激光驻波场操纵中性原子沉积过程的分析缺乏纳米光栅的全貌信息,而采用三维分析方法则能给出纳米光栅的三维全貌信息,对结果的分析越精确。针对此,基于采用三维分析方法建立了激光驻波场与中性原子作用的模型,通过三维分析实现了不同原子束发散角条件下中性原子运动轨迹及沉积结果的三维仿真,结果显示当中性原子束发散角小于0.6 mrad时,所获得的纳米光栅的沉积质量较好,而超过0.6 mrad后所沉积的纳米光栅将会出现分裂现象。

三维分析、中性原子、发散角、高斯激光驻波场

45

O436.1(光学)

国家自然科学基金61565004;广西自然科学基金2014GXNSFGA118003,2013GXNSFOA019002;广西教育厅基金ZD2014057,KY2015B103;桂林市科学研究与技术开发项目20140127-1,20150133-3

2016-05-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共1页

0306003-1-0306003-5

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红外与激光工程

1007-2276

12-1261/TN

45

2016,45(3)

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