基于MEMS的红外动态图像生成技术

摘要：

提出了一种基于MEMS技术的红外动态图像生成技术.利用热传导方程,建立了可见光/红外图像转换膜的理论模型;介绍了可见光/红外图像转换膜制作的工艺流程,制作了一张像元数为512×512、像元尺寸为35 μm的可见光/红外图像转换膜.并利用转换膜构造了红外动态图像生成装置,通过实验对红外动态图像生成装置的性能进行了研究.利用MEMS技术制作的可见光/红外图像转换膜可以工作在红外3～5 μm和8～12 μm两个波段.根据实验测得红外图像生成装置的空间分辨率为14 lp/mm,在3～5μm波段,所生成红外图像的温度范围为250～440 K,在8～12 μm波段,所生成红外图像的温度范围为250～400K.

关键词：红外动态图像生成、微机电系统、可见光/红外图像转换膜、仿真

所属期刊栏目：45

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-63