用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究

摘要：

248nm的KrF准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用.研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术.通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化激光器的性能;并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算.该准分子激光器的重复频率为1～50 Hz,最高输出效率达2.0％,单脉冲输出能量最高达360 mJ,当工作电压不低于24 kV时,激光输出能量不稳定度小于1.8％.用该激光器作为光源采用静态相位掩模法在光纤内刻写布拉格光栅,并对刻写结果进行分析和讨论.

关键词：准分子激光器、气体配比、输出能量、输出效率、光纤布拉格光栅

所属期刊栏目：45

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：71-76