10.3969/j.issn.1007-2276.2015.z1.003
红外组件可靠性试验的自动保护系统设计
针对红外组件可靠性试验环境的自动控制及失效保护要求,设计了一种自动化试验环境监控系统.系统采用可编程逻辑控制器(PLC)为控制核心,通过Profibus-DP总线通信对整个监控系统进行高速集中控制,实时监测现场设备状态,协调控制现场设备按序运行,实现试验真空的自动维持以及在真空失效时的报警保护.同时基于Wincc flexible软件设计了触摸屏人机操作界面,对设备运行数据的实时显示及存储.最后对该监控系统进行了实验验证,实验结果表明,该系统运行稳定可靠,自动维持的真空度优于10-4 Pa,自动维持的温度低于90K,可满足红外组件寿命试验的要求.
红外组件、PLC、真空、寿命试验
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TN406(微电子学、集成电路(IC))
2016-04-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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