氧化热处理对VO2薄膜特性的影响研究

摘要：

采用直流磁控溅射法,结合氧化法热处理在硅基底上制备VO2薄膜,通过SEM、XRD、XPS、FTIR红外透射率等测试,从多角度分析了氧化热处理对VO2薄膜截面结构、晶相成分、成分价态、红外透射率相变特性的影响.实验分析表明,采用直流磁控溅射与氧化热处理相结合的方法,可获得主要成分为具有明显择优取向单斜金红石结构VO2(011)晶体的氧化钒薄膜,氧化热处理有利于VO2晶粒生长并增加薄膜致密性,同时其红外透射率具有明显相变特性,相变温度为60 . 5℃,3~5μm、8~12μm波段的红外透射率对比值达到99.5%,实现了对红外波段辐射的开关功能,适合应用于红外探测器的激光防护研究,同时可为深入研究对薄膜的氧化热处理提供参考依据.

关键词：二氧化钒薄膜、直流磁控溅射、氧化热处理、薄膜特性

所属期刊栏目：44

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金SKL2013ZR03

在线出版日期：2016-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3723-3728