高频率皮秒激光微加工石英衬底铝膜效率

摘要：

采用重复频率100 kHz下,输出功率为3.7 W的532 nm Nd:YAG皮秒激光器对石英衬底微米量级的铝膜进行了烧蚀,研究了脉宽为10 ps的激光单脉冲能量密度对烧蚀效率、光斑耦合率对烧蚀图形以及重复加工次数对加工精度的影响.单脉冲激光烧蚀实验证实,皮秒激光烧蚀铝膜可分为高能量密度烧蚀与低能量密度烧蚀两个区域.光斑耦合率对烧蚀深度影响较大,不易从理论角度控制烧蚀效率.为提高加工精度与验证求解烧蚀率的准确性,提出重复多次加工的方法.对比了高斯线性法与高斯线性修正法的求解烧蚀率的结果,证明了高斯线性修正法在扫描激光精细加工方面的优越性.利用高斯线性修正法求得的烧蚀效率,模拟了激光在不同光斑耦合率下烧蚀微槽的三维轮廓图.

关键词：激光微加工、皮秒激光、石英衬底铝膜、烧蚀效率

所属期刊栏目：44

分类号：TN241(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金10878004/A03

在线出版日期：2016-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3238-3243