偏振分光膜中节瘤的激光损伤特性

摘要：

研究了1064 nm HfO2/SiO2偏振分光膜中节瘤的损伤特性。为了研究偏振分光膜中节瘤缺陷种子源粒径大小与损伤阈值之间的关系，在熔石英基板上植入了尺寸和密度可控的单分散性的SiO2小球，并采用电子束蒸发技术在熔石英基板上制备了1064 nm HfO2/SiO2偏振分光膜。为了便于损伤测试，节瘤缺陷密度控制在20~40 mm2左右，并采取旋涂的措施防止了SiO2小球团聚的现象。为了获得人工节瘤损伤能量的统计值，用脉宽为10 ns的1064 nm脉冲激光进行了光栅扫描式损伤测试。实验结果表明在偏振分光膜中节瘤缺陷的损伤阈值随着种子源粒径的增大而单调下降。

关键词：激光损伤、偏振分光膜、节瘤缺陷、人工节瘤

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61235011；高等学校博士学科点专项科研基金20100072120037

在线出版日期：2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2461-2466