基于线阵CCD的高速光刻检焦技术陈昌龙1,2，邸成良1,2，唐小萍1，胡松1

摘要：

随着光学投影光刻分辨力的提高，投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深，一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键，检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号，并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢，难以满足实时调焦的要求。鉴于此，提出了一种用线阵CCD采集图像，以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性，结合多项式插值的亚像素边缘检测算法，能够高速实时检测硅片离焦量；同时，FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿，形成一个实时闭环的调焦系统，减少了原有的计算机环节，具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。

关键词：光刻、检焦、FPGA、线阵CCD

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家自然科学基金61274108

在线出版日期：2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2389-2394