10.3969/j.issn.1007-2276.2015.08.008
声光调Q CO2激光器的实验研究
为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 kHz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 kHz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6μrad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。
CO2激光器、声光调Q、重复频率、稳定性
TN248.2(光电子技术、激光技术)
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新项目Y25632C120;激光与物质相互作用国家重点实验室自主基础研究课题SKLLIM1413
2015-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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2280-2285