飞秒激光烧蚀石英玻璃微槽截面形状仿真

摘要：

基于透明电介质的烧蚀率计算模型，建立了飞秒激光烧蚀石英玻璃的微槽截面形状仿真模型，并通过烧蚀实验验证了模型的可靠性。利用所建模型分析了光斑半径、脉冲能量和扫描速度等参数对微槽截面形状的影响规律。研究表明，减小光斑半径、提高脉冲能量或降低扫描速度均可以提高微槽的槽深和侧壁角；微槽的槽宽随脉冲能量的提高或扫描速度的降低而增大，但随光斑半径的增大，其呈现先增大后减小的规律，在脉冲能量为4μJ、扫描速度为0.2 mm/s的条件下，槽宽在光斑半径为13μm时达到最大值8.13μm。

关键词：飞秒激光、石英玻璃、仿真建模、烧蚀形状

分类号：TN249;O437.5(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51175061；创新研究群体科学基金51321004；辽宁省自然科学基金201200615

在线出版日期：2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2243-2249