基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术

摘要：

大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分，其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段，子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法，基于最大似然估计与正交化Zernike多项式拟合建立了一套合理的拼接算法与数学模型，基于该算法模型可以有效实现对大口径平面镜的拼接检测，同时编写了相应的拼接程序，并利用Ф100 mm干涉仪对Ф120 mm的平面镜进行了拼接检测，给出了拼接检测与全口径检测的对比结果，对比结果表明：拼接所得全孔径相位分布与全口径检测结果的RMS值偏差分别为0.002λ，验证了算法的可靠性与准确性。

关键词：干涉检测、子孔径拼接、最大似然估计、Zernike多项式拟合、正交化

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金61036015；国家高技术研究发展计划O8663NJ090

在线出版日期：2015-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2206-2210