红外探测器寿命试验自动化真空系统设计

摘要：

针对目前红外组件寿命试验过程中测试参数时必须更换真空腔的问题，设计了一种用于红外组件寿命试验的自动化、多工位真空系统。提出了以杜瓦为试验中心的总体方案，实现寿命试验过程中原位参数测试。通过真空理论计算和计算机3D建模，进行了系统结构设计；采用可编程逻辑控制器(PLC)为控制核心，通过自动控制抽气回路阀门和泵的启停，实现对寿命试验真空环境的实时监控，以及对真空失效进行报警保护。在完成系统的设计后，进行了试验验证。试验结果表明，所设计的真空系统功能可正常运行，系统在加液氮的情况下，空载真空压强可达3.67×10-6 Pa，满足红外组件寿命试验必需的真空环境要求。

关键词：红外探测器、寿命试验、真空

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：上海市科委部分地方院校能力建设项目13160501000

在线出版日期：2015-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1712-1715