10.3969/j.issn.1007-2276.2015.02.064
条形和脊型SOI波导微环结构传感性能研究
使用时域有限差分(FDTD)方法研究了基于SOI微环谐振腔结构的条形和脊型波导,探究了微环谐振腔应用于生物传感的理论。分析了结构的几何尺寸对生物传感器灵敏度的影响。通过分析条形和脊型波导的模场分布图,解释了条形波导的灵敏度明显高于脊型波导的原因,且随着波导宽度的增加其灵敏度系数的变化遵循相同的趋势。并且,当条形波导取得最高的灵敏度系数时,其横截面是方形的,然而脊型波导的最大灵敏度值对应的却是不完全对称的几何结构。当条形波导的横截面全对称时,灵敏度达到最大值172.3 nm/RIU。
条形和脊型波导、微环谐振腔、生物传感器、横截面
TN302(半导体技术)
国家自然科学基金91123036,51105267;高等学校博士学科点专项科研基金20131402110013,20111402120007;山西省科技厅科技重大专项20121101004;山西省高等学校特色重点建设学科项目晋教材[2012]45号;山西省回国留学人员科技活动项目择优资助项目
2015-03-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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