1064 nm、532 nm、355 nm波长脉冲激光辐照多晶硅损伤特性研究

摘要：

为系统研究不同波长激光与多晶硅材料的相互作用，采用1064 nm、532 nm、355 nm波长单脉冲激光对多晶硅进行辐照实验，研究多晶硅在这三种波长激光下的损伤形态。实验结果表明：在其他参数不变的情况下，损伤阈值随激光波长的减小而变小，且与波长呈线性关系；在低能量密度水平下，355 nm激光与物质作用主要是以光化学模型为主的光化学-光热共同作用方式，其他波长为光热模型；在激光能量密度处于低水平时，辐照区域出现相互连接的规则六边形微结构，并且六边形中心呈现圆形凸起状态，其产生是由液体横向流动的波动本质造成的，并与多晶硅表面的粗糙度有关。

关键词：波长、多晶硅、损伤阈值、微结构

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目51175237；中国博士后基金20100481096；江苏省博士后基金1002029C；江苏大学高级人才启动基金09JDG090；江苏省“六大人才高峰”A类项目；江苏省企业博士集聚计划项目；江苏大学“拔尖人才培养工程”优秀青年学术骨干培养对象课题项目

在线出版日期：2015-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：461-465