CCD光电参数测试系统的研制

摘要：

研制了一套CCD光电参数测试系统，可实现对CCD的无效像元、相对光谱响应、响应度、等效噪声照度、动态范围、面响应度不均匀性等光电参数的全自动测试。CCD的相对光谱响应测试基于单光路直接比较法实现，而其他CCD光电参数的测试则基于特制的积分球光源。四个可独立开关的溴钨灯分别安置于四个次积分球内，经高精度电动光阑与主积分球级联，主积分球壁上的照度计经标定后可实时测试积分球光源出口照度值。该光源色温不变，可在大动态范围内以较高精度实现连续调节，满足CCD光电参数测试的需求。利用上述装置对E2V公司科学级CCD47-10B进行了实际测试，并分析了测量的不确定度。结果表明：相对光谱响应测试覆盖光谱范围400~1000 nm，不确定度为4.37%。光电转换参数测试装置距离光源出口23 mm处照度覆盖动态范围0~235 lx，Φ80 mm范围内照度均匀性达到99%,测试不确定度为4.9%。该系统可用于航天级CCD的光电参数测试及芯片甄选。

关键词：CCD、动态范围、全自动测试、不确定度

分类号：TN386.5;TP391.4(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划2012AA03A707

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3451-3456