新原理光电探测阵列的微光响应测试研究

摘要：

针对暗电流低、灵敏度高等优点的新原理量子效应光电探测器，设计和加工了增益可调 CTIA读出电路，以获得宽动态范围读出。读出电路芯片与1×64元量子效应光电探测器集成封装，在室温(300K)条件下进行读出测试研究。光源采用633nmHe-Ne 激光器，直径50μm 光斑聚焦照射。测试结果表明：器件偏压为-0.1V，激光功率150pW，积分时间78μs，响应电压55mV,电压响应率达到3.67E+08V/W。根据测试结果，提出了进一步降低暗电流影响的改进测试方案。

关键词：微光读出、量子效应器件、高灵敏度、增益可调读出电路、暗电流

分类号：TN4;TN215(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家科技部重大科研项目2006CB932802,2011CB932903；上海市科委配套078014194，118014546

在线出版日期：2014-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2546-2551