衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化

摘要：

提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法，解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论，设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式，推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统，并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明：当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16时，可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。

关键词：光束匀化、衍射光学、半导体激光器、微透镜阵列

分类号：TN245(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院开放课题JTJG201206

在线出版日期：2014-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2092-2096