单光栅与双光栅衍射角度检测对比分析

摘要：

光栅副是增量式光电编码器最主要组成部分，它的结构和衍射效应直接与检测精度相关。文中深入地分析了单光栅与双光栅衍射特点，并且从空间调制模型的角度推导光栅副对莫尔条纹的影响。从宏观和微观两个角度分析光栅副的屏函数，研究莫尔条纹光电信号输出波形的不确定原因和反差对比度，进而证明单光栅测量可以减少输出信号的频率成分，获得较高的细分精度和反差对比度。为了证明单光栅角度检测的可行性，给出了一套完整的单光栅角度检测方法。

关键词：增量式、光栅副、莫尔条纹

分类号：TN929.1

资助基金：吉林省青年科研基金项目20140520122JH

在线出版日期：2014-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1616-1620