红外衍射微光学元件的湍流波前模拟和再现

摘要：

基于衍射微光学理论，发展了一种面向红外波段衍射微光学元件的设计和制作方法。采用标准半导体技术工艺流程制作了若干个器件。文中设计的红外衍射元件主要用于形成复杂的光场，其振幅和相位都能有效地得到控制。所制造的衍射微光学元件，通过在元件表面形成良好的相位图案，把普通的高斯光束转换成所需要的经大气湍流环境影响后的图形。该结构能够被用于产生湍流波前从而模拟大气湍流中的光场，进而再现波前以评估大气湍流的影响。

关键词：衍射理论、半导体技术工艺、波前、大气湍流

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金61176052，60777003；武汉国家光电实验重点基金0101187006

在线出版日期：2014-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1522-1528