光泽金属的激光精密刻蚀实验研究

摘要：

采用266 nm或355 nm的紫外激光器可以对微小的金属薄膜器件直接进行激光精密加工。但是，目前紫外激光器的输出功率普遍较低，以至于还不能对大幅面、深尺度的光泽金属进行激光加工。为了克服光泽金属对大功率固体激光器输出的1064 nm激光的高反射率和散热快问题，采用了优化谐振腔和扫描聚焦系统的光学方法，实现了激光单模运转，功率密度达到了1.592×109 W/cm2，由此也使得加工工件通过原子吸收激光能量的方式改变为通过金属中的自由电子的等离子体激射来吸收激光能量。在平均功率为50 W、重复频率为500 Hz、焦斑直径小于20μm、脉冲宽度为80 ns、切割速度为10 mm/s的加工条件下，对厚度为10 mm的大尺寸紫铜板直接进行了激光精密刻蚀实验，切割的槽宽和槽深均为100±10μm；槽间距为300±15μm，均达到了初始设计的指标要求。

关键词：激光加工、光泽金属、高亮度

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家基础科学人才培养基金J1103208

在线出版日期：2014-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1473-1476