激光选择聚焦的响应增强型光电探测器

摘要：

介绍了一种利用激光选择聚焦的结构来增强光电探测器的光电响应的方法。通过采用工作在传输模式的振幅型菲涅耳波带片，获得了较高的激光收集效率，同时也较好地抑制了背景光。当激光入射时，集成了菲涅耳波带片的InGaAs/InP p- i- n 光电探测器和InGaAs/InP 雪崩光电二极管的响应分别增强了36倍和4倍，而当模拟自然光的卤钨灯照射时，集成了菲涅耳波带片的两类光电探测器的响应均被抑制了30%。集成了菲涅耳波带片的探测器显现出对激光信号的较强吸收，对模拟自然光的卤钨灯光源的明显抑制。

关键词：激光选择聚焦、菲涅耳波带片、光电探测器

分类号：TN21(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院战略性先导科技专项B类XDB01010200；上海市科委项目11nm0502100，11dz2283100，12nm0502900，12DZ2293600；国家基础研究重大项目2011CB925600

在线出版日期：2014-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1416-1420