高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法

摘要：

基于最小二乘拟合的传统干涉子孔径拼接方法实现了小口径干涉仪对大口径光学元件的检测，然而在子孔径测试过程中，由于干涉仪上的参考面存在面形误差，将使获得的各子孔径的面形数据偏离真实值，所以在进行高精度面形测量时，获得参考面的面形误差并将其补偿掉是非常必要的。因此，提出了一种在拼接过程中用Zernike项对子孔径间重叠区域数据进行拟合的方法来求得参考面面形。首先在传统的目标函数上加入一系列Zernike项表征待求参考面，然后按照最小二乘法对函数进行求解得到各项系数，从而得到拟合的参考面。对平面和球面分别进行了子孔径拼接实验，拟合得到的参考面面形与QED拼接干涉仪计算得到的参考面面形的PV值偏差小于5 nm，RMS值偏差小于0.2 nm，拼接后的重叠区域不匹配误差值小于10 nm。实验结果表明，在子孔径拼接过程中可以补偿参考面误差而得到更真实的拼接面形。

关键词：光学检测、子孔径拼接、Zernike拟合、误差补偿

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金61007001

在线出版日期：2014-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1194-1199