10.3969/j.issn.1007-2276.2014.04.027
高精度标准镜支撑结构的研究与设计
为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标准镜面形精度要优于λ/40的要求,设计了口径准150 mm的标准镜的支撑方式,采用12×3点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式,经有限元分析得到:参考面面形的PV值为7.36 nm,RMS值为1.52 nm;并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明,各项指标满足设计要求,证明了结构设计的合理性。
标准镜、参考面、支撑结构、自重变形、有限元法
TH703(仪器、仪表)
中国科学院“三期”创新工程
2014-05-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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