锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

摘要：

报道了锰钴镍铜氧薄膜(Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4， MCNC，x=0,0.08,0.16,0.24）的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例，制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明，对于一定厚度及尺寸的薄膜器件，铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声，弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40 ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83×107 cm·Hz1/2W-1，相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外，对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。

关键词：锰钴镍铜氧、薄膜、红外探测、负温度系数

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金11204336,61275111；上海市自然科学基金12ZR1452200；中国科学院上海技术物理研究所创新专项Q-ZY-96, Q-ZY-89

在线出版日期：2014-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1073-1079