高精度长焦距测量系统反射镜安装误差分析

摘要：

大口径长焦距测量系统中，为了缩小测量系统的尺寸，加入两块反射镜形成折返光路。折返光路中两块反射镜的安装误差是影响测量结果的重要因素。将条纹理解成条纹成像面上的点光源阵列，通过这一思路分析了反射镜偏转角度对最终检测结果的影响。研究了反射镜偏转角度与反射镜单位法向量的计算公式，结合反射定律的矩阵形式，求出入射光矢量到出射光矢量的变换矩阵。基于反射镜的单位法向量、出射光的方向向量，利用解析几何得到理想接收屏上条纹所在直线的方程，求出接收屏上测得的条纹的角度。计算了两块反射镜小角度旋转的49种组合情况下，莫尔条纹角度的偏差结果。使用自准直仪分光路的方法调整反射镜，将反射镜安装误差控制在1"以内，莫尔条纹角度的偏差在10-4°数量级。通过实验验证莫尔条纹的测量精度实际达到0.005°，充分说明了反射镜的调整效果。

关键词：光学测量、莫尔条纹角度偏差、反射率的矩阵形式、安装误差、长焦距

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：562-568