10.3969/j.issn.1007-2276.2014.02.042
高精度长焦距测量系统反射镜安装误差分析
大口径长焦距测量系统中,为了缩小测量系统的尺寸,加入两块反射镜形成折返光路。折返光路中两块反射镜的安装误差是影响测量结果的重要因素。将条纹理解成条纹成像面上的点光源阵列,通过这一思路分析了反射镜偏转角度对最终检测结果的影响。研究了反射镜偏转角度与反射镜单位法向量的计算公式,结合反射定律的矩阵形式,求出入射光矢量到出射光矢量的变换矩阵。基于反射镜的单位法向量、出射光的方向向量,利用解析几何得到理想接收屏上条纹所在直线的方程,求出接收屏上测得的条纹的角度。计算了两块反射镜小角度旋转的49种组合情况下,莫尔条纹角度的偏差结果。使用自准直仪分光路的方法调整反射镜,将反射镜安装误差控制在1"以内,莫尔条纹角度的偏差在10-4°数量级。通过实验验证莫尔条纹的测量精度实际达到0.005°,充分说明了反射镜的调整效果。
光学测量、莫尔条纹角度偏差、反射率的矩阵形式、安装误差、长焦距
TH741(仪器、仪表)
2014-03-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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