10.3969/j.issn.1007-2276.2014.01.025
硅基APD器件的工艺及性能仿真分析
硅基APD的性能取决于其器件结构与工艺过程。文中对n+-p-π-p+外延结构的APD器件的工艺和器件性能进行了仿真分析,为硅基APD器件的设计提供了理论指导。利用Silvaco软件对APD器件的关键工艺离子注入和扩散工艺进行了仿真,确定工艺参数对杂质的掺杂深度和掺杂分布的影响。并且,对于APD器件的性能进行了分析,对电场分布、增益、量子效率、响应度等参数进行了仿真分析。仿真结果表明:在给定的器件参数条件下,所设计的APD器件的增益为100时,响应度峰值为55 A/W左右,在600~900 nm范围内具有较高响应度,峰值波长在810 nm。
硅基雪崩二极管(Si-APD)、二维工艺仿真、器件仿真
TN364(半导体技术)
重庆市电子产业发展基金
2014-02-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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