1.06μm激光辐照CCD探测器的热力效应分析

摘要：

根据CCD探测器的结构特点和传热学理论，建立了1.06μm激光辐照CCD探测器的理论模型，利用有限元法对1.06μm激光辐照CCD探测器中的温度和应力分布进行了数值分析，讨论了CCD探测器的激光损伤机理，并比较了不同重频激光的损伤效果。计算结果表明，遮光铝膜与SiO2层的分离和硅材料的应力、熔融损伤会导致CCD器件损伤；平均功率密度一定的条件下，高重频激光比连续激光更容易造成CCD探测器的损伤，且重频越低，损伤越容易发生。

关键词：激光损伤、数值分析、CCD探测器

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：380-386