光刻机智能控制系统设计

摘要：

随着光刻工艺要求的提升，光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题，但该设计体积大，功耗高，震动大，且人机交互性不强，多路实时监控难以集成。鉴于此，设计了一种基于平板电脑的光刻机控制设备，该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成，通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440作为核心，图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心，运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时，图像采集卡首先对视频图像进行预处理，接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示，用户通过控制终端进行操作，最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑技术与光刻机相结合，实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享，使光刻机更加智能化和现代化。

关键词：光刻机、FPGA、ARM、智能控制

分类号：TP23(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金61274108

在线出版日期：2014-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：317-322