基于泰伯莫尔法的长焦距测量系统的装调技术

摘要：

为了实现长焦距的精确测量，基于泰伯莫尔法测量长焦距的原理，构建出了由准直波前发生器、泰伯干涉仪和成像采集系统组成的长焦距测量装置。分析了准直波前畸变对焦距测量精度的影响，用数值分析的方法分析了待测样品到光栅G1的距离s，光栅G1、G2的间距d以及栅线夹角对焦距测量精度的影响。提出了具体的装调方法：用五棱镜法检测波前，保证准直波前质量PV值优于一个波长；用光栅尺位移传感器测量s，标定d，使其精度达到0.1 mm；采用标准反射凹球面法标定光栅夹角，使光栅夹角的装调精度达到0.001o。对焦距为5436 mm的透镜进行实验测量，误差小于0.35%。

关键词：Talbot-Moiré效应、长焦距测量、精度分析、装调

分类号：O439(光学)

资助基金：十二五国防基础科研项目

在线出版日期：2013-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2836-2841