子孔径拼接检测浅度非球面

摘要：

子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面，在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上，提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面，用圆形子孔径进行了划分。最后完成子孔径的拼接仿真，验证了数学模型及拼接算法的可行性，同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。

关键词：子孔径拼接、非球面、光学检测、误差、仿真

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：微细加工光学技术研究课题

在线出版日期：2013-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2525-2530