可调谐半导体激光吸收传感器的温度测量验证

摘要：

开发了一种可调谐半导体激光吸收传感器，用于测量气体的温度，应用扫描波长吸收谱和固定波长调制谱探测水蒸气在7454.4 cm-1和7185.6 cm-1附近的两条吸收谱线。传感器可实现绝对温度测量，固定波长调制谱更可实现10 kHz以上的测量带宽。传感器的性能和精度在已知温度和压力的静室中进行测量验证，在600~1000 K的设定温度范围，两种方法的测量误差(RMS)都小于2%。表明可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)传感器对于均匀的流场具有快速和精确的温度测量能力。

关键词：可调谐半导体激光吸收光谱、固定波长调制谱、温度测量、绝对测量、水蒸气

分类号：O433.5(光学)

在线出版日期：2013-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2358-2363