采用三角剖分算法的子孔径拼接检测技术

摘要：

为了解决大口径光学平面镜的子孔径拼接检测问题，基于三角剖分算法与最小二乘拟合算法，建立了一套合理的拼接算法和数学模型，编制了拼接程序，并结合工程实例，利用600 mm干涉仪实现了对612 mm×180 mm圆角矩型平面镜的拼接测量。检测中，基于靶标确定子孔径间的相对位置，完成子孔径间的对准，并且基于不同的镜体位置，对拼接检测的重复性进行了多次实验验证。实验结果表明：拼接结果无“拼痕”，并且两次基于不同镜体位置计算获取的拼接面形PV与RMS的相对偏差分别为2.07%与0.52%，拼接面形是一致的，验证了检测的可靠性和准确性。

关键词：光学检测、干涉测量、子孔径拼接、三角剖分、最小二乘拟合

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金61036015；国家高技术研究发展计划O8663NJ090

在线出版日期：2013-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1793-1797