10.3969/j.issn.1007-2276.2013.07.026
采用三角剖分算法的子孔径拼接检测技术
为了解决大口径光学平面镜的子孔径拼接检测问题,基于三角剖分算法与最小二乘拟合算法,建立了一套合理的拼接算法和数学模型,编制了拼接程序,并结合工程实例,利用600 mm干涉仪实现了对612 mm×180 mm圆角矩型平面镜的拼接测量。检测中,基于靶标确定子孔径间的相对位置,完成子孔径间的对准,并且基于不同的镜体位置,对拼接检测的重复性进行了多次实验验证。实验结果表明:拼接结果无“拼痕”,并且两次基于不同镜体位置计算获取的拼接面形PV与RMS的相对偏差分别为2.07%与0.52%,拼接面形是一致的,验证了检测的可靠性和准确性。
光学检测、干涉测量、子孔径拼接、三角剖分、最小二乘拟合
O439;O436.1(光学)
国家自然科学基金61036015;国家高技术研究发展计划O8663NJ090
2013-10-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
1793-1797