YAG晶体功能薄膜制备

摘要：

采用电子束蒸发方法制备Nd∶YAG晶体板条功能薄膜,理论设计并镀制具有倏逝膜功能的宽带泵浦光减反膜(808 nm HT)和具有谐波功能的双色膜(808 nm HR,1 064 nm HT).实验表明:大角度使用条件下的双色膜通带波纹加剧是导致其光谱性能下降的主要原因,同时比较了不同工艺下膜层应力对薄膜开裂的影响,使用应力缓冲层技术抑制了薄膜老化过程中裂纹的形成和扩展.激光损伤测试结果表明双色膜的单脉冲损伤阈值大于5.6 J/cm2(1 064 nm,5 ns,1-on-1),连续激光损伤阈值大于500 kW/cm2(1 064 rim),原子力显微镜分析证实初始损伤源主要来自膜层及其界面的点状吸收缺陷.

关键词：薄膜光学、双色膜、薄膜应力、YAG晶体、激光损伤

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分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家高技术课题8042022A

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3318-3322