固着磨料工艺加工碳化硅反射镜表面质量研究

摘要：

主要研究内容是对固着磨料工艺加工的碳化硅反射镜光学表面进行高频频段的评价.从微观模型入手对表面粗糙度进行了计算机仿真,并将模拟结果与实测结果进行了对比,针对使用不同规格的丸片加工碳化硅反射镜,其表面粗糙度的结果实验值与理论值的偏差比分别为5.97％,3.19％,3.59％,37.37％,并详细分析了出现偏差的可能原因.最后使用分形理论分析了固着磨料工艺加工后获得的光学表面,由此得出固着磨料工艺很容易快速获得较为光滑的光学表面,非常适合于快速表面成形及在较大面形误差的情况下获得较低的表面粗糙度.

关键词：固着磨料、碳化硅、非球面、高频、分形

所属期刊栏目：41

分类号：TN304.05;TH703(半导体技术)

资助基金：国家973项目2011CB01320005

在线出版日期：2013-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2474-2479