可调整光程的激光测长机

摘要：

为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机.采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,提高了测量准确度.并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析.实验结果表明,该激光测长机的测量准确度达到了±(0.5 μm +1.5×10-6 L),测量重复性为0.2 μm.满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求.

关键词：计量学、可调整光程、激光测长机、阿贝原则、直接测量

所属期刊栏目：41

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家863计划2007AA701203

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2192-2196